新型多功能FE-SEM顯微鏡的發(fā)布

JEOL 發(fā)布場發(fā)射掃描電子顯微鏡FE-SEM，能提供更多成像和分析能力，并可以根據(jù)用戶要求定制功能。JEOL JSM-7100F 系列在各種加速電壓下都把小的探針和大的束狀電流結(jié)合在一起，因此能提供低于1nm的成像能力和100nm的表征分析能力。

JSM-7100F主要為經(jīng)費緊張的實驗室設(shè)計，因此它是一款多功能、容易使用的場發(fā)射SEM，同時又可以擴(kuò)展到新的水平。通過獨特的'透鏡場發(fā)射槍'，SEM能對樣品打出200 nA 的電流?？讖浇强刂歧R頭自動優(yōu)化小探針光斑的尺寸，以進(jìn)行高分辨率成像、保持高電子束的光斑形狀和高分辨率顯微分析。

JSM-7100FT新配了重新設(shè)計的復(fù)合透鏡和帶能量過濾器的透鏡探測器，因此擁有先進(jìn)的高分辨能力。電子柱優(yōu)越的電子光學(xué)設(shè)計使它擁有高分辨率成像能力，對包括磁性樣品在內(nèi)的各種材質(zhì)類型的表面細(xì)節(jié)都成像清楚。有集成的透鏡加速、減速裝置，就會減少低kV的畸變，得到更高速分辨率以及加速度小的電壓。另外，JEOL的已被證實有效的束流減速模式會在給非導(dǎo)電樣本成像時較少供電，提高了低kV下光斑的大小，提高了表面形貌。

新的場發(fā)射SEM為非導(dǎo)電樣本的多種成像、分析技術(shù)提供越來越多的可能性。每個機(jī)器都采用渦輪分子泵和快速樣本交換氣閘確保清潔的真空環(huán)境。

可選低真空操作部件

可選LV功能（直到300Pa）為JSM-7100F和JSM-7100FT提供額外的功能，通過顯微鏡用戶界面可全面控制LV功能，同時在高真空下不破壞真空無限制的低倍成像和高電子束時，允許所有的LV洞口被收回。LV系統(tǒng)配備在固態(tài)BSE檢測器上。

可調(diào)節(jié)的多個分析技術(shù)

JSM-7100F系列配備了大的樣本室，這樣可以同時容納各種檢測器和附件，包括EDS、WDS、STEM、BSE、CL和IR相機(jī)，并不會折中某一個的表現(xiàn)，這個系統(tǒng)可以配備原位實驗所需的各種載物臺，如拉伸、加熱和制冷載物臺。

提高了生產(chǎn)率

JEOL以其容易使用的SEM操作軟件、圖形用戶界面和生產(chǎn)率大幅提高而著稱。存儲圖像時會保留操作條件，方便多個用戶使用。圖像的歸檔、搜索、測量、生成報告、過濾和剪接都可在圖像數(shù)據(jù)庫進(jìn)行。