掃描隧道顯微鏡的工作原理是應(yīng)用電子隧道現(xiàn)象，將樣品本身作為一具電極，另一個(gè)電極是一根非常尖利的探針。把探針移近樣品，并在兩者之間加上電壓，當(dāng)探針和樣品表面相距只有數(shù)十埃時(shí)，由于隧道效應(yīng)在探針與樣品表面之間就會(huì)發(fā)生隧穿電流，并堅(jiān)持不變。若表面有渺小起伏，那怕只有原子大小的起伏，也將使穿電流產(chǎn)生成千上萬(wàn)倍的變更。這些信息輸進(jìn)電子盤(pán)算機(jī)，經(jīng)過(guò)處置即可在熒光屏上顯示出一幅物體的三維圖像。掃描隧道顯微鏡一般用于導(dǎo)體和半導(dǎo)體表面的測(cè)定。
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