1931年，德國(guó)的M.諾爾和E.魯斯卡，用冷陰極放電電子源和三個(gè)電子透鏡改裝了一臺(tái)高壓示波器，并獲得了放大十幾倍的圖象，發(fā)現(xiàn)的是透射電鏡，證實(shí)了電子顯微鏡放大成像的可能性。1932年，經(jīng)過(guò)魯斯卡的改良，電子顯微鏡的辨別才能到達(dá)了50納米，約為當(dāng)時(shí)間學(xué)顯微鏡分辯本領(lǐng)的十倍，突破了光學(xué)顯微鏡分辯極限，于是電子顯微鏡開(kāi)端受到人們的器重。
到了二十世紀(jì)40年代，美國(guó)的希爾用消像散器補(bǔ)償電子透鏡的旋轉(zhuǎn)不對(duì)稱性，使電子顯微鏡的辨別本事有了新的突破，逐步到達(dá)了現(xiàn)代程度。在中國(guó)，1958年研制勝利透射式電子顯微鏡，其辨別本事為3納米，1979年又制成分辯本事為0.3納米的大型電子顯微鏡。
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