早在17世紀(jì)，人類(lèi)首次通過(guò)玻璃透鏡察看到了水中的微生物。到了19世紀(jì)，光學(xué)顯微鏡的利用使醫(yī)學(xué)和生物學(xué)取得了很大提高，但由于光波波長(zhǎng)對(duì)辨別率的限制，光學(xué)顯微鏡的放大倍數(shù)還不能滿足科學(xué)家摸索微觀世界的須要。
1931年，盧斯卡和諾爾依據(jù)磁場(chǎng)可以會(huì)聚電子束這一原理發(fā)現(xiàn)了世界上第一臺(tái)電子顯微鏡。電子顯微鏡的原理同光學(xué)顯微鏡雷同。光學(xué)顯微鏡通常是應(yīng)用電燈作為光源。電燈發(fā)出的光波被聚光器匯聚到透明物體上，然后經(jīng)過(guò)物鏡等一系列透鏡形成放大的圖像。而電子顯微鏡是用電子束而非可見(jiàn)光來(lái)成像的。簡(jiǎn)略說(shuō)電子的行動(dòng)同光波類(lèi)似，但是其波長(zhǎng)較光波的波長(zhǎng)小幾百倍，這就使電子顯微鏡的辨別率大大進(jìn)步。在電子顯微鏡中，磁場(chǎng)的作用相似于光學(xué)顯微鏡中的透鏡。隨后，科學(xué)家又創(chuàng)造了掃描電子顯微鏡。它重要是用來(lái)研討固體表面形貌的，它可以得到固體表面的三維后果圖像。
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