電子顯微鏡以電子束來代替可見光束，分辨率沒可見光譜之內(nèi)的限制，分辨率可達(dá)原子直徑的兩倍。放大率是200～200 000倍，有兩類1發(fā)射型用于研究電子放射現(xiàn)象。2電磁、靜電掃描型用以增加普通光學(xué)顯微鏡的應(yīng)用范圍。
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