德國柏林工科大學的年青研討員盧斯卡，1932年制造了第一臺電子顯微鏡——它是一臺經(jīng)過改良的陰極射線示波器，勝利地得到了銅網(wǎng)的放大像——第一次由電子束形成的圖像，加速電壓為7萬，Zui初放大率僅為12倍。盡管放大率微不足道，但它卻證實了應用電子束和電子透鏡可形成與光學像雷同的電子像。
經(jīng)過不斷地改良，1933年盧斯卡制成了二級放大的電子顯微鏡，金相顯微鏡，獲得了金屬箔和纖維的1萬倍的放大像。
1937年應西門子公司的邀請，盧斯理樹立了超顯微鏡學試驗室。1939年西門子公司制作出辨別本事到達30埃的世界上Zui早的適用電子顯微鏡，并投進批量生產(chǎn)。
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