電子顯微鏡（electron microscope），簡稱電鏡，是應(yīng)用電子來展現(xiàn)物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡，依據(jù)電子光學(xué)原理，用電子束和電子透鏡取代光束和光學(xué)透鏡，使物資的細(xì)微構(gòu)造在非常高的放大倍數(shù)下成像。
1926年漢斯?布什研制了第一個磁力電子透鏡。1931年恩斯特-魯斯卡和馬克斯-克諾爾研制了第一臺透視電子顯微鏡。展現(xiàn)這臺顯微鏡時使用的還不是透視的樣本，而是一個金屬格。1986年盧斯卡為此獲得諾貝爾物理學(xué)獎。1938年他在西門子公司研制了第一臺貿(mào)易電子顯微鏡。
1934年鋨酸被提議用來增強(qiáng)圖像的對照度。1937年第一臺掃描透射電子顯微鏡推出。
一開端研制電子顯微鏡Zui重要的目標(biāo)是顯示在光學(xué)顯微鏡中無法辨別的病原體如病毒等。1949年可投射的金屬薄片呈現(xiàn)后資料學(xué)對電子顯微鏡的興致大增。
1960年代透射電子顯微鏡的加速電壓越來越高來透視越來越厚的物資。這個時代電子顯微鏡到達(dá)了可以辨別原子的才能。
1980年代人們能夠應(yīng)用掃描電子顯微鏡察看濕樣本。1990年代中電腦越來越多地用來剖析電子顯微鏡的圖像，同時應(yīng)用電腦也可以把持越來越龐雜的透鏡體系，同時電子顯微鏡的操作越來越簡略。
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