維易科 Dimension 5000 掃描探針顯微鏡
Dimension 5000 SPM具有對(duì)大樣品的自動(dòng)成像能力，使之在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備的制造過程中廣泛使用，它能夠測量直徑達(dá)350 mm的樣品上測量100多個(gè)區(qū)域。它具有原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡的全部配置，可以在三維尺寸上探測缺陷、測量表面粗糙度和其它特征，測量過程對(duì)樣品無損傷并且無需對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理和修飾。
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掃描探針顯微鏡/電化學(xué)掃描探針顯微鏡.bmp "維易科電化學(xué)掃描探針顯微鏡")
