維易科 di D3100 掃描探針顯微鏡
產品簡介：
Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術，
可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。
它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數據處理能力。
di D3100 掃描探針顯微鏡技術參數：
噪聲：在屏蔽噪聲和震動后，均方根在垂直（Z）方向上小于0.5埃
開環(huán)掃描頭：X-Y方向上約90微米的正方形范圍,Z方向上約6微米范圍標準的橫向精度在1%之內，Zui大2%在整個掃描范圍和偏移量內，每個軸上都能達到全部16位分辨率
閉環(huán)掃描頭：X-Y方向上約90微米的正方形范圍,Z方向上約6微米范圍,典型的橫向非線性精度在1%之內，Zui大2%在整個掃描范圍和偏移量內，每個軸上都能達到全部16位分辨率
樣品尺寸：直徑小于150毫米（可選擇卡盤使直徑范圍達到200毫米）厚度小于12毫米（可選用適配器來掃描更厚的樣品）
樣品支架：150毫米的封閉式卡盤可承載硬盤、半導體晶片和其他樣品；可互換的適配器，可將硬盤中心定位（標準）；可移動的晶片定位夾（標準）；真空泵（標準）；磁力支架，可用于直徑小于15毫米厚度小于6毫米的樣品（標準）；200毫米的封閉式卡盤可承載150毫米和200毫米晶片（可選）；液槽，可將顯微鏡掃描頭沉浸在小于7毫米深的液體中（可選）
載物臺：增強的機動化定位系統(tǒng)；可檢查區(qū)域125毫米*100毫米；分辨率2微米；單向重復精度3微米（Zui大10微米）;雙向重復精度X軸4微米，Y軸6微米
針尖/懸臂支架：輕敲/接觸模式（標準）；力調制/掃描隧道顯微鏡支架（可選）；在液體中操作的針尖支架（可選）
顯微鏡光學系統(tǒng)：可視區(qū)域150微米到670微米；機動化縮放和聚焦；分辨率約1.5微米；計算機控制的照明系統(tǒng)；視頻圖像采集
針尖檢查：在軸上，通過顯微鏡光學系統(tǒng)實時檢查
振動隔離：硅樹脂防震墊（標準）；抗震臺（可選）；
電源要求：單相700瓦，100、120或者240伏，50或者60赫茲
顯微鏡重量：約150英鎊（68千克）
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