Dimension AFP 自動化原子力顯微鏡
Dimension AFP 原子力輪廓儀是現(xiàn)今唯一的在 65nm 的尺度上對化學(xué)機(jī)械研磨和蝕刻制程測量提供實驗室解決方案的單一機(jī)臺。原子力輪廓儀結(jié)合了原子力顯微鏡的出眾的解析度和輪廓儀的長距掃描功能，為蝕刻深度和器件表征提供了高精確的測量。它具有在任何原子力顯微鏡和輪廓儀中Zui快的生產(chǎn)能力，并具有無可比擬，如 STI, W, Cu 和 CMP在線量測重復(fù)性。
AFP 代替了昂貴，破壞性的切面技術(shù)，將蝕刻測量由原來幾天縮減到幾分鐘。AFP獨有輕敲模式能以無損傷地探測大寬深比的形貌，并具有高橫向及縱向分辨率。
自動化的 AFP 的多功能模式和輪廓儀的功能為非常適合FEOL 和 BEOL 應(yīng)用，包括：
· 化學(xué)機(jī)械研磨
· 刻蝕深度測量
· 臺階高度測量
· 粗糙度測量
· 芯片地圖
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