Dimension X3D-PM 自動化原子力顯微鏡
Dimension X3D-PM 是專門為光掩膜應用而設(shè)計的Zui新的自動化AFP。該系統(tǒng)能夠提供無比的測量重復性、高分辨率、整體輪廓圖，適用于鉻合金、石英、硅化鉬和光刻膠等各種材料。獨一無二的3D-AFP技術(shù)是一種不受材料性質(zhì)影響的高分辨且無損傷的測量技術(shù)，它具有完全的自動掩膜處理能力，Dimension X3D-PM AFP適應于收集各種詳細信息于一個工具中，適用于Zui苛刻的掩膜制備過程，包括：多重CD線和空格、線和空格的深度測量、孔CD和深度、垂直和再進入側(cè)面的側(cè)面角、線寬度的變化率、掩膜修復時的缺陷檢查。
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