Dimension X 自動(dòng)化原子力顯微鏡
Dimension X是Zui新的無(wú)損自動(dòng)原子力顯微鏡，專門(mén)設(shè)計(jì)適用于半導(dǎo)體工業(yè)中的高分辨刻蝕深度的測(cè)量。新型的Dimension X確保了芯片制造者測(cè)量與刻蝕相關(guān)的90納米或更深的結(jié)構(gòu)，用于高產(chǎn)量環(huán)境的深度均一性控制。它采用了新的深度分析功能，可以提供更高的處理能力和準(zhǔn)確性?？尚?zhǔn)的系統(tǒng)在不象截面測(cè)量那樣損傷樣品，而可以重復(fù)在線測(cè)量STI、gate、contacts和vias等高長(zhǎng)徑比特征。Dimension自動(dòng)平臺(tái)由于它的可靠性、準(zhǔn)確性和低花費(fèi)而被世界范圍的制造商廣泛采納。
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