Dimension X3D 自動(dòng)化原子力顯微鏡
Dimension X3D 自動(dòng)化原子力顯微鏡是第一種可度量的，用于精確，無(wú)損傷的輪廓分析和關(guān)鍵尺寸的測(cè)量。它提供了對(duì)單獨(dú)和密集特征形貌的直接測(cè)量并且適用于在不同的制程多種材料。這個(gè)系統(tǒng)是定位于先進(jìn)器件制造的關(guān)鍵制程控制。
X3D可收集關(guān)鍵CD 結(jié)構(gòu)的詳細(xì)數(shù)據(jù)，如在光刻，先進(jìn)的蝕刻制程中碰到的，包括門，淺槽隔離結(jié)構(gòu),雙道金屬鑲嵌結(jié)構(gòu)，側(cè)壁線邊緣的變化等和其他參照測(cè)量。系統(tǒng)的AFM技術(shù)提供無(wú)可比擬的分辨率，重復(fù)性和表現(xiàn)。作為第一個(gè)提供全自動(dòng)AFM系統(tǒng)的公司，VEECO持續(xù)研發(fā)先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)以幫助客戶更快的進(jìn)入市場(chǎng)，達(dá)到更高的收益，減少成本和增加良率，就像在 X3D 中發(fā)現(xiàn)的一樣。
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